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红外干涉测量设备

更新时间:2020-12-14

产品品牌:Frontier Semiconductor

产品型号:FSM 413

产品描述:红外干涉测量技术, 非接触式测量

红外干涉测量设备适用于可让红外线通过的材料

硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石  英、聚合物…………

衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)

平整度

厚度变化 (TTV)

沟槽深度

过孔尺寸、深度、侧壁角度

粗糙度

薄膜厚度

环氧树脂厚度

衬底翘曲度

晶圆凸点高度(bump height)