元素分析
表面分析
太阳能/半导体
通用仪器耗材
更新时间：2020-12-14
产品品牌：Frontier Semiconductor
产品型号：FSM 413
红外干涉测量设备适用于可让红外线通过的材料
硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
平整度
厚度变化 (TTV)
沟槽深度
过孔尺寸、深度、侧壁角度
粗糙度
薄膜厚度
环氧树脂厚度
衬底翘曲度
晶圆凸点高度(bump height)
